原子力显微镜FM-Nanoview 6600AFM

一、扫描探针显微镜功能特点
1.光机电一体化设计，外形结构简单；
2.扫描探头和样品台集成一体，抗干扰能力强；
3.精密激光检测及探针定位装置，光斑调节简单，操作方便；
4.采用样品趋近探针方式，使针尖垂直于样品扫描；
5.伺服马达手动或自动脉冲控制，驱动样品垂直接近探针，实现扫描区域精确定位；
6.高精度大范围的样品移动装置，可自由移动感兴趣的样品扫描区域；
7.高精度大范围的压电陶瓷扫描器，根据不同精度和扫描范围要求选择；
8.自由变倍的CCD观测系统，实时观测与定位探针扫描样品区域；
9.采用伺服马达控制CCD对焦和光学放大；
10.模块化的电子控制系统设计，便于电路的持续改进与维护；
11.集成多种扫描工作模式控制电路，配合软件系统使用。
二、友好的软件界面及操作功能
1.多通道图像同步采集显示，实时查看剖面图；
2.多种曲线力-间距(F-Z)、频率-RMS（f-RMS）、RMS-间隙（RMS-Z）测量功能；
3.可进行扫描区域偏移、剪切功能，任意选择感兴趣的样品区域；
4.可任意选择样品起始扫描角度；
5.激光光斑检测系统的实时调整功能；
6.针尖共振峰自动和手动搜索功能；
7.可任意定义扫描图像的色板功能；
8.支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能；
9.支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正；
三、主要技术参数
名  称	        参  数	                          名  称	              参  数
工作模式	        轻敲模式、接触模式	                  扫描角度	      任意
样品尺寸	        Φ≤90mm；H≤20mm	                  样品移动范围	      0～20mm
较大扫描范围	横向50um，纵向5um	                  马达趋近脉冲宽度      10±2m
扫描分辨率	横向0.2nm，纵向0.05nm	          CCD放大倍数	      光学放大0.6～5X，电子放大40X
扫描速率	        0.6Hz~4.34Hz	                  图像采样点	      256×256，512×512
扫描控制	        XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A	  反馈方式	      DSP数字反馈
数据采样	        14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样 反馈采样速率	      64.0KHz
仪器重量体积	40KG，700*480*450mm	          计算机接口	      USB2.0
运行环境	        运行于Windows98/2000/XP/7/8操作系统